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High power nanocrystalline diamond RF MEMS- A combined look at mechanical and microwave properties

机译：高功率纳米晶金刚石RF MEMS-一种机械和微波性能的组合

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S. Balachandran; J. Kusterer; D. Maeir; M. Dipalo; T. Weller; E. Kohn;
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年度 2008
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