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【2h】

Device fabrication and transport measurements of FinFETs built with28Si SOI wafers toward donor qubits in silicon

机译：用28SI SOI晶片构建的FinFET的设备制造和运输测量朝向施主符号

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Cheuk Chi Lo; Arun Persaud; Scott Dhuey; Deirdre Olynick; Ferenc Borondics; Michael C Martin; Hans A Bechtel; Jeffrey Bokor; Thomas Schenkel;
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年度 2009
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2. Pamam built-on-silicon wafer thin-layer extraction devices for selective metal contamination detection [J] . Valdes Oscar, Vergara Claudia, Nachtigall Fabiane M., Tetrahedron letters: The International Journal for the Rapid Publication of Preliminary Communications in Organic Chemistry . 2016,第23期

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