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【2h】

Development of Active Squeeze Air Bearing Using Oscillation of Piezoelectric Actuators. (2nd Report). Radial Squeeze Air Bearing for Motion Error Correction.

机译：压电致动器振荡的主动挤压空气轴承的研制。（第二次报告）。径向挤压空气轴承用于运动误差校正。

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Hiromi ISOBE; Chie ONODERA; Yoshihisa NAKAO; Akira KYUSOJIN;
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年度 2001
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