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【2h】

Micro-Fabrication of Single Crystal Silicon by Using Combination Technique of Nano-scale Machining and Alkaline Etching.

机译：采用纳米级加工和碱蚀刻的组合技术微晶硅的微制造。

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作者
Liyi CHEN; Noboru MORITA; Kiwamu ASHIDA;
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年度 2001
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