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机译:Ultraprecision定位系统使用空气静力导轨作为运动减少机构。
Hiroshi MIZUMOTO; Makoto YABUYA; Yoshihiro KAMI; Shiroh ARII;
机译:由主动固有节流器控制的超精密空气静力导轨
机译:带电流变流变阻尼器的线性电动机驱动的超精密空气静力工作台系统的纳米定位
机译:磁性预载静压导轨,用于高速纳米定位
机译:使用静力导轨作为运动机理的微距定位系统
机译:自动导轨运输系统的行程时间比较。
机译:微型静压导轨不平衡的实验与识别
机译:由主动固有限制器控制的超高压空气静止导轨。
机译:空间机构高精度位姿测量系统的开发与测试。
机译:超精密位置控制系统
机译:在多轴定位系统中测量导轨偏移以进行补偿
机译:导轨安装的车辆定位系统
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