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【2h】

A 6 to 24 GHz continuously tunable, microfabricated, high-Q cavity resonator with electrostatic MEMS actuation

机译：具有静电MEMS致动的6至24 GHz连续可调谐，微制造的，高Q腔谐振器

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Muhammad Shoaib Arif; Dimitrios Peroulis;
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年度 2012
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