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Lithographic Processes for the Scalable Fabrication of Micro- and Nanostructures for Biochips and Biosensors

机译：用于生物芯片和生物传感器的微型和纳米结构的可伸缩制造的光刻工艺

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Silvia Fruncillo; Xiaodi Su; Hong Liu; Lu Shin Wong;
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年度 2021
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