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FIB Etching of Glass-Like Carbon Die and Mold Press of Micro Glass Lens

机译：微玻璃透镜的玻璃状碳模具和模具压力机的FIB蚀刻

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作者
Hiroaki ITO; Kohshi ITO; Masahiro ARAI; Koh-ichi SUGIMOTO; Toshiaki MATSUKURA; Ryutaro MAEDA;
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作者单位

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年度 2006
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1. The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns [J] . Youn SW, Takahashi M, Goto H, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2006,第7期

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