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Low-temperature and low thermal budget fabrication of polycrystalline silicon thin-film transistors

机译：多晶硅薄膜晶体管的低温低热预制

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年度 1996
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2. New Structure of Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor with Germanium Layer in Source/Drain Regions for Low-Temperature Device Fabrication [J] . Minoru Mitsui, Keisuke Arimoto, Junji Yamanaka, Japanese journal of applied physics . 2008,第3issue1期

机译：用于低温器件制造的在源/漏区中具有锗层的多晶硅薄膜晶体管的新结构
3. Electrical Degradation and Recovery of Low-Temperature Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors in Polycrystalline Silicon Plasma Process [J] . Chang J.-J., Chang-Liao K.-S., Wang T.-K., Electron Devices, IEEE Transactions on . 2011,第8期

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5. A low thermal budget polycrystalline silicon-germanium/silicon thin film transistor technology [D] . Wang, Albert William 1998

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6. Improvement in pH Sensitivity of Low-Temperature Polycrystalline-Silicon Thin-Film Transistor Sensors Using H2 Sintering [O] . Li-Chen Yen, Ming-Tsyr Tang, Fang-Yu Chang, 2014

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8. Novel Low Thermal Budget Thin-Film Polysilicon Fabrication Process for Large-Area, High-Throughput Solar Cell Production, (Final Report) [R] . Kuo, Y. 2010

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