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机译:电气通过链条产量进行DSA接触孔收缩过程
Hirokazu Kato; Yuriko Seino; Hiroki Yonemitsu; Hironobu Sato; Masahiro Kanno; Katsutoshi Kobayashi; Ayako Kawanishi; Tsubasa Imamura; Mitsuhiro Omura; Naofumi Nakamura; Tsukasa Azuma;
机译:DSA接触孔收缩工艺的电气过孔率
机译:定向自组装(DSA)接触孔收缩的缺陷研究
机译:用于DSA接触孔收缩应用的高级表面亲和力控制
机译:用于连接电触点的电阻钎焊过程的经验和数值模型。
机译:链之间的短接触增强了共轭共聚物的发光量子产率和载流子迁移率
机译:使用高亮度傅里叶变换方法作为有机光伏的透明电触头表征等离子体孔阵列
机译:在电化学和生物化学处理中使用电动乳液相接触器
机译:用于接触用于垂直集成的半导体部件中的垂直导体的接触工艺包括在半导体本体中蚀刻垂直孔,将孔的侧壁电绝缘以及进一步处理
机译:电接触通信网络中使用的交换元件的过程包括在第一交换组件上施加第一层,在第一层中形成孔以及进一步处理
机译:使用间隔图案形成过程形成接触孔的方法,该方法能够通过减少步骤数来提高产量
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