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Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas

机译：采用PFP可粘结气体的纳米压印光刻突破性成果

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Shinji Matsui; Hiroshi Hiroshima; Yoshihiko Hirai; Masaru Nakagawa;
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年度 2014
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1. Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas [J] . Shinji Matsui, Hiroshi Hiroshima, Yoshihiko Hirai Journal of Photopolymer Science and Technology . 2014,第1期

机译：使用PFP可冷凝气体的纳米压印光刻技术的突破性成就
2. Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas [J] . Shinji Matsui, Hiroshi Hiroshima, Yoshihiko Hirai, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2014,第1期

机译：使用PFP可冷凝气体的纳米压印光刻技术的突破性成就
3. Innovative Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas [J] . Hiroshi Hiroshima, Masaru Nakagawa, Yoshihiko Hirai Journal of Photopolymer Science and Technology . 2013,第1期

机译：使用PFP可冷凝气体的创新纳米压印光刻
4. Approach of UV nanoimprint lithography using template with gas-permeable and gaseous adsorption for reduction of air-trapping issue [C] . Satoshi Takei, Naoto Sugino, Takao Kameda, Conference on photomask technology . 2016

机译：使用具有透气性和气体吸附性的模板的UV纳米压印光刻技术，以减少捕集空气的问题
5. From Holography to Nanoimprint Lithography: Investigation of Photo-Induced Effects in Azobenzene-Functionalized Molecular Glasses and Polymers [D] . Meichner, Christoph. 2017

机译：从全息术到纳米压印光刻：偶氮烯官能化分子玻璃和聚合物中的光诱导效果的研究
6. Contact electrification induced interfacial reactions and direct electrochemical nanoimprint lithography in n-type gallium arsenate wafer [O] . Jie Zhang, Lin Zhang, Wei Wang, 2017

机译：n型砷化镓晶片中的接触带电引起的界面反应和直接电化学纳米压印光刻
7. High-resolution nanopatterning of biodegradable polylactide by thermal nanoimprint lithography using gas permeable mold [O] . Satoshi Takei, Makoto Hanabata 2017

机译：利用透气模具通过热纳米压印光刻技术制备可生物降解聚丙交酯的高分辨率纳米图案

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