Parametrically Amplified Low-Power MEMS Capacitive Humidity Sensor

机译：参数放大低功耗MEMS电容湿度传感器

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Rugved Likhite; Aishwaryadev Banerjee; Apratim Majumder; Mohit Karkhanis; Hanseup Kim; Carlos H. Mastrangelo;
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年度 2019
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