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【2h】

High Throughput and High Accurate Micro-sieve with Tapered Apertures Fabricated by Tilt Exposing in X-ray Lithography

机译：高通量和高准确的微筛，具有通过X射线光刻倾斜曝光的锥形孔制造的锥形孔

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作者
Seichin KINUTA; Masashi KOBAYASHI; Sumio HOSAKA;
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年度 2012
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