机译:氮素谱和浓度对原位氮化制备的血浆增强原子层沉积HFOXNY对等离子体增强原子层沉积HFOXNY的影响
机译:氮的分布和浓度对原位氮化制备的等离子体增强原子层沉积HfO_xN_y的负偏压温度不稳定性的影响
机译:原子层沉积和等离子体增强原子层沉积Ta_2O_5的比较研究以及对原位氮化的电性能的影响
机译:通过等离子体增强原子层沉积,具有均匀氮气掺杂谱的Heal-Moxion薄膜的低温一步生长
机译:在90nm去耦等离子体氮化氧氮化物栅cmosfet上的负偏差不稳定性
机译:低工艺温度下库珀种子层的等离子体增强原子层沉积。
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的硅氧氮薄膜的微结构化学光学和电学性质的测量
机译:高k电介质的等离子体增强原子层沉积过程中的原子尺度氮气深度分布控制