首页> 外文OA文献 >Fabrication of Sub-10 nm Metal Wire Circuits using Directed Self-Assembly of Block Copolymers

【2h】

Fabrication of Sub-10 nm Metal Wire Circuits using Directed Self-Assembly of Block Copolymers

机译：使用嵌段共聚物的定向自组装制造Sub-10 NM金属线路电路

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Tsukasa Azuma; Yuriko Seino; Hironobu Sato; Yusuke Kasahara; Katsutoshi Kobayashi; Hitoshi Kubota; Hideki Kanai; Katsuyoshi Kodera; Naoko Kihara; Yoshiaki Kawamonzen; Shinya Minegishi; Ken Miyagi; Hitoshi Yamano; Toshikatsu Tobana; Masayuki Shiraishi; Satoshi Nomura;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2016
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Fabrication of Sub-10 nm Metal Wire Circuits using Directed Self-Assembly of Block Copolymers [J] . Azuma Tsukasa, Seino Yuriko, Sato Hironobu, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2016,第5期

机译：使用嵌段共聚物的直接自组装制备亚10纳米以下的金属线电路
2. Fabrication of Sub-10 nm Metal Wire Circuits using Directed Self-Assembly of Block Copolymers [J] . Tsukasa Azuma, Yuriko Seino, Hironobu Sato, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2016,第5期

机译：使用嵌段共聚物的定向自组装制造Sub-10 NM金属线路电路
3. Directed self-assembly of block copolymers for sub-10 nm fabrication [J] . Yu Chen, Shisheng Xiong 极端制造（英文） . 2020,第003期

机译：用于亚10纳米制程的嵌段共聚物的定向自组装
4. Directed Self-Assembly of Triblock Copolymers for Sub-10 nm Nanofabrication Using Polymeric Additives [C] . Jiajing Li, Chun Zhou, Xuanxuan Chen, SPIE Advanced Lithography Conference . 2018

机译：三嵌段共聚物的定向自组装，用于使用聚合物添加剂进行亚10 nm纳米加工
5. Directed self-assembly of block copolymers and ternary block copolymer/homopolymer blends on chemically patterned surfaces into device-oriented geometries. [D] . Stoykovich, Mark P. 2007

机译：嵌段共聚物和三元嵌段共聚物/均聚物共混物在化学图案化表面上的定向自组装成面向装置的几何形状。
6. Directed Self-Assembly of Block Copolymers for the Fabrication of Functional Devices [O] . Christian Pinto-Gómez, Francesc Pérez-Murano, Joan Bausells, 2020

机译：用于制造功能装置的嵌段共聚物的定向自组装
7. Sub-10 nm resistless nanolithography for directed self-assembly of block copolymers [O] . Fernández-Regúlez Marta, Evangelio Laura, Lorenzoni Matteo, 2016

机译：用于嵌段共聚物定向自组装的亚10 nm无阻纳米光刻

Fabrication of Sub-10 nm Metal Wire Circuits using Directed Self-Assembly of Block Copolymers

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅