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机译:一种新型3-DOF电子驱动平衡结构模型
Hao Peng; Haitao Fan; Jinghuai Qiu; Tianxiang Weng; Xueke Zhang; Jie Yu; Zhongwei Zhao;
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机译:用于分辨率低于曝光波长的光学平版印刷的相位平衡辅助结构的基于模型的放置的方法和设备
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