Study on a Novel Capacitive Pressure Sensor with Large Dynamic Range

机译：具有大动态范围的新型电容式压力传感器研究

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Tongtong Zhang; Zhengyuan Zhang;
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年度 2015
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1. A 100 mu m diameter capacitive pressure sensor with 50 MPa dynamic range [J] . Luo Xin, Gianchandani Yogesh B. Journal of Micromechanics and Microengineering . 2016,第4期

机译：直径为100微米的电容式压力传感器，动态范围为50 MPa
2. Capacitive Pressure Sensor With Very Large Dynamic Range [J] . Bakhoum E. G., Cheng M. H. M. Components and Packaging Technologies, IEEE Transactions on . 2010,第1期

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3. Design, Manufacture and Testing of Capacitive Pressure Sensors for Low-Pressure Measurement Ranges [J] . Marc P.Y. Desmulliez, Vasileios Mitrakos, Philip J.W. Hands, Micromachines . 2017,第2期

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4. Study on a Novel Capacitive Pressure Sensor with Large Dynamic Range [C] . Zhang Tongtong, Zhang Zhengyuan International Industrial Informatics and Computer Engineering Conference . 2015

机译：具有大动态范围的新型电容式压力传感器研究
5. Permanent Contact Mode Operation of Air-Coupled Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers (CMUTs) for Wide Pressure Range Application [D] . Ho, Min-Chieh. 2014

机译：用于宽压范围应用的通用电容式微机械超声换能器（CMUT）的永久接触模式操作
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