Programmable synchronization enhanced MEMS resonant accelerometer

机译：可编程同步增强型MEMS谐振加速度计

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Liu Xu; Shudong Wang; Zhuangde Jiang; Xueyong Wei;
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年度 2020
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1. Programmable synchronization enhanced MEMS resonant accelerometer [J] . Liu Xu, Shudong Wang, Zhuangde Jiang, 微系统与纳米工程（英文） . 2020,第003期

机译：可编程同步增强型MEMS共振加速度计
2. A MEMS resonant accelerometer with sensitivity enhancement and adjustment mechanisms [J] . Ding Hong, Wang Wen, Ju Bing-Feng, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2017,第11期

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3. A MEMS Resonant Accelerometer With High Relative Sensitivity Based on Sensing Scheme of Electrostatically Induced Stiffness Perturbation [J] . Ding Hong, Wu Changju, Xie Jin Journal of Microelectromechanical Systems . 2021,第1期

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4. Sensitivity Enhancement of Mems Resonant Accelerometers by Using Electrostatic Spring [C] . Xingyin Xiong, Wang Zheng, Kunfeng Wang, IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems . 2020

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