机译:X射线硬区中最外区宽度为35 nm的菲涅耳区带板的制备和性能测试
机译:X射线硬区中最外区宽度为50 nm的菲涅耳区带板的性能测试
机译:使用极紫外全息照相法制造25纳米区域宽度的菲涅耳波带片
机译:在使用原子层沉积和聚焦离子束制造硬X射线菲涅耳波带片方面的最新进展
机译:基于线性菲涅耳波带片的两态对准系统,用于0.25微米X射线光刻。
机译:双面硬X射线菲涅耳波带片中未对准的测量和补偿
机译:双面硬X射线菲涅耳区板中未对准的测量和补偿
机译:硬X射线菲涅耳波带片的材料优化。