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Microstructure Fabricated by Monocrystalline Silicon Anisotropic Etching in Sodium Carbonate and Sodium Bicarbonate Solutions

机译：通过碳酸钠和碳酸氢钠溶液中单晶硅各向异性蚀刻制造的微观结构

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Junjun Ma; Ruizhi Luo; Yaqin Wang; Shiqing Man;
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年度 2015
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