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【2h】

Effects of different gases on electrical properties and reliability of Ge MOS capacitors with GeOx/GeOxNy as gate dielectric

机译：不同气体对Geox / Geoxny作为栅极电介质电气电容器电气性能和可靠性的影响

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C.X. Li; Y.Z. Zhang; J.H. Zhu;
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年度 2015
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