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【2h】

Top-down Fabrication of Silicon Nanowires Using Thermal Oxidation and Wet Etching for Inertial Sensor Applications

机译：用于惯性传感器应用的热氧化和湿法蚀刻的硅纳米线的自上而下制造

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Seohyeong Jang; Hun Lee; Joon Yoon Shin; Hyung Jung Yoo; Dong-il Dan Cho;
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年度 2018
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1. Top-down Fabrication of Silicon Nanowires Using Thermal Oxidation and Wet Etching for Inertial Sensor Applications [J] . Seohyeong Jang, Hun Lee, Joon Yoon Shin, Sensors and materials . 2018,第8a2a期

机译：惯性传感器应用中使用热氧化和湿蚀刻自上而下制造硅纳米线的方法
2. Silicon Oxide Nanowires: Facile and Controlled Large Area Fabrication of Vertically Oriented Silicon Oxide Nanowires for Photoluminescence and Sensor Applications [J] . Taiwo R. Alabi, Dajun Yuan, David Bucknall ACS applied materials & interfaces . 2013,第18期

机译：氧化硅纳米线：用于光致发光和传感器应用的垂直取向氧化硅纳米线的简便且可控制的大面积加工
3. Low-cost top-down zinc oxide nanowire sensors through a highly transferable ion beam etching for healthcare applications [J] . Sun K., Zeimpekis I., Hu C., Microelectronic Engineering . 2016,第Mara期

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4. Optimization of the Process Modules for a Top-Down Silicon Nanowire Fabrication using Optical Lithography and Orientation Dependent Etching [C] . Nor F. Zabah, Kelvin S. K. Kwa, Anthony ONeill International Conference on Materials Science and Information Technology . 2013

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5. Development of silicon chemical wet etching toward the realization of an integrated thermal-electronic package. [D] . Holke, Alexander Dietrich. 1999

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7. Low-cost top-down zinc oxide nanowire sensors through a highly transferable ion beam etching for healthcare applications [O] . Sun Kai, Zeimpekis Ioannis, Hu Chunxiao, 100

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