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Dense, Strong, and Precise Silicon Nitride-Based Ceramic Parts by Lithography-Based Ceramic Manufacturing

机译：基于光刻的陶瓷制造的密集，强，精确的氮化硅陶瓷零件

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Altan Alpay Altun; Thomas Prochaska; Thomas Konegger; Martin Schwentenwein;
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年度 2020
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