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A Study of the Conformal Coating Technique on the 3D Stack Semiconductors Devices

机译：三维叠层半导体器件的保形涂层技术研究

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Yoshiyuki SEIKE; Masanori OHTSUBO; Futoshi SHIMAI; Kenji MARUYAMA; Hiroyuki YAMAMOTO; Yoshinori KOBAYASHI; Keiji MIYACHI; Toshiro DOI; Syuhei KUROKAWA; Osamu OHNISHI;
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年度 2012
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