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Three-Dimensional Nanoscale Mapping of State-of-the-Art Field-Effect Transistors (FinFETs)

机译：最先进的现场效应晶体管（FINFET）的三维纳米级映射

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Pritesh Parikh; Corey Senowitz; Don Lyons; Isabelle Martin; Ty J. Prosa; Michael DiBattista; Arun Devaraj; Y. Shirley Meng;
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年度 2017
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