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【2h】

Adaptive Sliding Mode Control for Magnetic Suspension Short-Stroke Stage in a Reticle Stage

机译：掩模阶段磁悬浮短行程级的自适应滑模控制

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作者
Bizhong Xia; Shuang Wu; Yong Tian; Kaiming Yang; Xin Li;
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年度 2015
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