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A New Model for the Etching Characteristics of Corners Formed by Sisub{111}/sub Planes on Sisub{110}/sub Wafer Surface

机译：Si _{{110} 晶片表面上的Si _{{111}平面形成的蚀刻特性的新模型}}

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Prem Pal; Sajal Sagar Singh;
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年度 2013
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1. A New Model for the Etching Characteristics of Corners Formed by Si{111} Planes on Si{110} Wafer Surface [J] . Prem Pal, Sajal Sagar Singh Engineering . 2013,第11期

机译：Si {110}晶片表面上由Si {111}平面形成的角的刻蚀特性的新模型
2. Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces [J] . Nagai M., Nakamura Y., Yamada T., Diamond and Related Materials . 2020,第期

机译：通过垂直{111}侧壁形成U形金刚石沟槽，通过钻石（110）表面的各向异性蚀刻
3. Self-diagnostic high-density silicon microprobe arrays fabricated by the corner compensated anisotropic etching of (110) silicon wafers [J] . Lee C, Cho YH, Lee K Sensors and Actuators, A. Physical . 2005,第2期

机译：通过（110）硅片的角补偿各向异性刻蚀制造的自诊断高密度硅微探针阵列
4. Low voltage optical switches fabricated by anisotropic wet etching of (110) and (111) silicon wafers [C] . Dong Wei, College of Electronic sciences Engineering, Liu Caixia, 第5届国际光通信与网络年会暨第2届纤维光学发展现状与未来趋势国际学术研讨会论文集 . 2006

机译：通过对（110）和（111）硅片进行各向异性湿法蚀刻制成的低压光开关
5. Solar fuel generation on semiconductors: Photo-assisted H 2 evolution on a novel delafossite AgRhO2 and a p-GaP (111) surface with {110} faces revealed by etching for CO 2 reduction [D] . Hu, Yuan 2015

机译：在半导体上产生太阳能：在新型铜铁矿AgRhO2和具有{110}面的p-GaP（111）表面上通过光蚀刻进行CO 2还原后，光辅助的H 2析出
6. Improvement of polycrystalline silicon wafer solar cell efficiency by forming nanoscale pyramids on wafer surface using a self-mask etching technique [O] . Hsin-Han Lin, Wen-Hwa Chen, Franklin C.-N. Hong -1

机译：通过使用自掩膜蚀刻技术在晶圆表面形成纳米级金字塔提高多晶硅晶圆太阳能电池效率
7. Characterization and modeling of antireflective coatings of SiOsub 2, Sisub 3Nsub 4, and SiOsub xNsub y deposited by electron cyclotron resonance enhanced plasma chemical vapor deposition [O] . S. N. M. Mestanza, M. P. Obrador, E. Rodriguez, 2006

机译：电子回旋谐振增强等离子体化学气相沉积的SiO Sub 2，Si Sub 3，Si Sub 3 N，Si Sub 4和SiO Sub X N Sub X N Sub X N Sub X N Sub x N Sub X N Sub X N Sub X N Sub X N Sub X N Sub X N Sub X N 亚y的表征及建模

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