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Development of MEMS Angular Rate Sensor with Self-calibration Function

机译：具有自校准功能的MEMS角速率传感器的开发

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S. Timoshenkov; N. Korobova; A. Mikheev; A. Timoshenkov;
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年度 2017
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1. Use of Self-Calibration Data for Multifunctional MEMS Sensor Prognostics [J] . Haroon Ahmed Khan, Imran Tahir, Andrew Richardson Journal of Microelectromechanical Systems . 2016,第4期

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2. MEMS Gyro Bias Estimation in Accelerated Motions Using Sensor Fusion of Camera and Angular-Rate Gyroscope [J] . Nazemipour Ali, Manzuri Mohammad Taghi, Kamran Danial, IEEE Transactions on Vehicular Technology . 2020,第4期

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3. Structure and Characteristics of a MEMS Wave Angular Rate Sensor with a Ring Resonator [J] . L. A. Severov, V. K. Ponomarev, A. I. Panferov, Gyroscopy and navigation . 2015,第1期

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4. Development of MEMS Angular Rate Sensor with Self-calibration Function [C] . S. Timoshenkov, N. Korobova, A. Mikheev, International Conference on Actual Issues of Mechanical Engineering . 2017

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5. MEMS angular rate and angular acceleration sensors with CMOS switched capacitor signal conditioning. [D] . O'Brien, Gary J. 2004

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6. High Dynamic Micro Vibrator with Integrated Optical Displacement Detector for In-Situ Self-Calibration of MEMS Inertial Sensors [O] . Yi-Jia Du, Ting-Ting Yang, Dong-Dong Gong, 2018

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7. Use of self-calibration data for multifunctional MEMS sensor prognostics [O] . Khan Haroon, Tahir Muhammed Imran, Richardson Andrew Mark David 2016

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8. Development of a Wireless MEMS Multifunction Sensor System and Field Demonstration of Embedded Sensors for Monitoring Concrete Pavements: Volume II - Development of a Wireless MEMS Multifunction Sensor (WMS) System for Concrete Pavement Health Monitoring. [R] . Ceylan, H., Yavas, S., Dong, L., 2016

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