Measurements of sputtering yields for low-energy plasma ions

机译：低能量等离子体离子的溅射产率的测量

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M. Nishi; M. Yamada; S. Suckewer; E. Rosengaus;
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年度 1979
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1. Measurement of Magnesium Oxide Sputtering Yields by He and Ar Ions with a Low-Energy Mass-Selected Ion Beam System [J] . Kiyohiro Hine, Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Japanese Journal of Applied Physics. Part 2, Letters & Express Letters . 2007,第45a49期

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机译：低能等离子体离子溅射产率的测量。

Measurements of sputtering yields for low-energy plasma ions

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