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【2h】

Cathode Design Optimization toward the Wide-Pressure-Range Miniature Discharge Ion Source for a Vacuum Micropump

机译：用于真空微泵的宽压力范围微型放电离子源的阴极设计优化

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Tongtong Yao; Fei Tang; Jian Zhang; Xiaohao Wang;
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年度 2019
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