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【2h】

Characterization and elimination of dry etching damaged layer in Pt/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/Pt ferroelectric capacitor

机译：Pt / Pb（Zr0.53Ti0.47）O3 / PT铁电电容中干蚀刻损伤层的表征和消除

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作者
June Key Lee; Tae-Young Kim; Ilsub Chung; Seshu B. Desu;
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作者单位

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年度 1999
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