Tunable nType Doping of Carbon Nanotubes through Engineered Atomic Layer Deposition HfOX Films

机译：通过工程原子层沉积HFOX薄膜可调谐N型掺杂碳纳米管

机译：原子层沉积在氮掺杂碳纳米管上结晶度控制的氧化锆薄膜的合成

机译：用原子层沉积沉积ZnO通道和HFOX栅极绝缘体的薄膜晶体管的后退火温度依赖性电性能

机译：通过原子层沉积的用于电阻存储器件的HfOx薄膜

机译：碳纳米管及其组件上的原子层沉积。

机译：原子层沉积制备的催化膜上取向碳纳米管的多向生长

机译：氨血浆诱导半导体碳纳米管膜的NTYPE掺杂：热电性能和环境效应

机译：通过工程原子层沉积可调谐掺杂碳纳米管

机译：通过工程化原子层沉积对碳纳米管进行可调掺杂

机译：用于通过使用原子层沉积方法向氧化物薄膜掺杂卤素的卤素掺杂源，用于制造卤素用于通过使用原子层沉积来对氧化物薄膜进行卤素掺杂的卤素掺杂源的方法，以及通过使用用于掺杂氧化物薄膜的方法制造的掺杂卤素的氧化物薄膜。含卤素