Enabling EUV Materials Introduction: An Evolutionary Process

机译：启用EUV材料介绍：进化过程

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Warren Monttomery; Brian Rice; Richard Brilla; Michael Liehr; Michael Tittnich;
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1. Enabling EUV Materials Introduction: An Evolutionary Process [J] . Warren Montgomery, Bryan Rice, Richard Brilla Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第2期

机译：启用EUV材料介绍：演进过程
2. Enabling EUV Materials Introduction: An Evolutionary Process [J] . Warren Monttomery, Brian Rice, Richard Brilla, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第2期

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3. A Comprehensive Review of EUV Resist Materials and Processing at Selete [J] . Toshiro Itani Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第2期

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4. Driving 100nm and below 300 mm manufacturing solutions- an era of single wafer processing, factory efficiencies, and new materials and technology introductions at reduced thermal budget and improved cycle time [C] . Gronet, C., Meissner, . 2001

机译：推动100纳米及300毫米以下的制造解决方案-单晶片加工，工厂效率提高以及采用新材料和新技术的时代，同时降低了热预算并缩短了周期时间
5. Effects of evolutionary processes on lithic raw material procurement and use during the Puebloan period at Bosson Wash, Zuni, New Mexico. [D] . Abbott, Alysia Lori. 2003

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7. A Comprehensive Review of EUV Resist Materials and Processing at Selete [O] . Toshiro Itani 2011

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