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【2h】

Various Ways for Controlling Electrical and Optical Properties of Al-N Films and the Preparation of Gradient Al-AlN Films.

机译：用于控制Al-N膜的电和光学性质的各种方式及梯度Al-Aln膜的制备。

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作者
Dao-Yuan WANG; Yukio NAGAHATA; Yasunori HAYASHI;
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年度 1996
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