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Advanced MEMS Packaging-Explore the New Continent, Optics and Bio Business. Packaging for Microfluidic Devices and Systems.

机译：高级MEMS包装 - 探索新的大陆，光学和生物业务。包装用于微流体装置和系统。

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作者
Zhen YANG; Ryutaro MAEDA;
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作者单位

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年度 2002
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
入库时间 2022-08-20 22:23:41

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