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【2h】

Application of Ultraprecision Microgrooving to Manufacturing Diffraction Grating for a Small Encoder.

机译：超自眼微换机在小型编码器中制造衍射光栅的应用。

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Kiyoshi SAWADA; Shunichi ODAKA; Tomohiko KAWAI; Yoshimi TAKEUCHI; Toshio SATA;
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年度 2000
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