机译:用于温度稳定和性能增强的单片CMOS-MEMS纯氧化物三轴加速度计
机译:集成式MEMS压阻三轴加速度计*
机译:利用CMOS-MEMS技术实现单片单质量三轴加速度计
机译:使用多层高密度金属的三轴MEMS电容式传感器用于集成CMOS-MEMS加速度计
机译:用于电容MEMS加速度计灵敏度表征的仅电刺激BIST IC
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:具有三轴感应电极阵列的CMOS-MEMS加速度计
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。