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Microscale Fracture Behavior of Single Crystal Silicon Beams at Elevated Temperatures

机译：升高温度下单晶硅梁的微观骨折行为

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2. Effect of localized KrF excimer laser treatment on fracture behaviors of freestanding < 110 > and < 100 > single crystal silicon beams [J] . Mitwally M. Elwi, Tsuchiya T., Tabata O., Microsystem technologies . 2016,第2期

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