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【2h】

Trajectory Planning of Semiconductor Wafer Transfer Robot Arm Driven by Stepping Motors Using Genetic Algorithm and Experiments

机译：使用遗传算法及实验，步进电机驱动半导体晶片传输机器人臂的轨迹规划

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作者
Hiroyuki Kojima; Yoshikazu Hashimoto; Yoshifumi Kuwano; Keiichi Abe; Hajime Hosoya;
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年度 2007
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