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Defect generation by nitrogen during pulsed sputter deposition of GaN

机译：GaN的脉冲溅射沉积期间氮气产生的缺陷

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Frederik Steib; Thilo Remmele; Jan Gülink; Sönke Fündling; Alexander Behres; Hergo-Heinrich Wehmann; Martin Albrecht; Martin Straßburg; Hans-Jürgen Lugauer; Andreas Waag;
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年度 2018
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