机译:无定形碳分子筛膜进行气相分离的等离子体增强化学气相沉积
机译:等离子体化学气相沉积和原子层沉积相结合沉积的掺Ge Sb-Te薄膜的生长和相分离行为
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:杂交二氧化硅膜的大气压等离子体增强化学气相沉积
机译:晶格匹配的III-V / IV组半导体异质结构:金属有机化学气相沉积和远程等离子体增强化学气相沉积。
机译:化学气相沉积甲基取代的硅烷制备的气体分离二氧化硅膜
机译:用于气体分离的复合无机膜:氢选择性氧化物膜的化学气相沉积和负载的沸石Naa膜的制备