机译:使用带有HMDS前驱物和C2H2稀释气体的远程PECVD系统沉积的SiC:H膜的沉积行为
机译:使用带有HMDS前驱物和C2H2稀释气体的远程PECVD系统沉积的SiC:H膜的沉积行为
机译:使用HMDS和PPCS在不同沉积条件下通过远程PECVD沉积的a-SiC:H薄膜的介电常数的变化行为
机译:H
机译:使用叔丁醇ha(IV)通过CVD和PECVD沉积的固态晶体管栅极应用的based基高k薄膜的特性表征。
机译:氮气掺入对VHF PECVD沉积的富含Si的A-SiCx薄膜光学性质的影响
机译:在不同氢气稀释下沉积的a-Si:H薄膜PECVD的微观结构相关表征