机译：使用混合磁阻力执行器的纳米分辨率高速扫描仪
机译：具有长行程和纳米分辨率的夹层压电致动器，通过两个致动模式的混合
机译：悬臂换能器具有纳米分辨率高速线性压电致动器的设计与制造
机译：混合磁阻致动器在纳米精度和mGauss杂散磁场真空扫描定位阶段中的应用挑战
机译：用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译：基于热机械作动器的三轴光学扫描仪用于高速两光子内窥镜成像
机译：注意：高速Z尖端扫描器带有螺旋悬臂保持机构，用于液体中的原子分辨率原子力显微镜
