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Mo-La2O3 Multilayer Metallization Systems for High Temperature Surface Acoustic Wave Sensor Devices

机译：用于高温表面声波传感器装置的Mo-La2O3多层金属化系统

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Siegfried B. Menzel; Marietta Seifert; Abhinav Priyadarshi; Gayatri K. Rane; Eunmi Park; Steffen Oswald; Thomas Gemming;
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年度 2019
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