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Deposit of AlN thin films by nitrogen reactive pulsed laser ablation using an Al target

机译：使用Al靶通过氮气反应脉冲激光烧蚀沉积AlN薄膜

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F. Chale-Lara; M. Zapata-Torres; F. Caballero-Briones; W. De la Cruz; N. Cruz Gonzalez; C. Huerta Escamilla; And M.H. Farias Sanchez;
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年度 2019
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