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【2h】

Model Predictive Control With Obstacle Avoidance for Inertia Actuated AFM Probes Inside a Scanning Electron Microscope

机译：模型预测控制与惯性避免对扫描电子显微镜内的AFM探针驱动AFM探针

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Shuai Liang; Mokrane Boudaoud; Pascal Morin; Jonathan Cailliez; Barthelemy Cagneau; Weibin Rong; Stephane Regnier;
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年度 2021
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