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机译:基于硅集成电路的硅基光源
L. Pavesi;
机译:硅集成电路的硅基光源
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机译:硅基硬掩模组合物(Si-SOH;硅基旋涂硬掩模)和使用该组合物的半导体集成电路器件的制造方法
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