Measuring transducers for capacitive micromechanical gyroscopes

机译：双频电容微机械超声换能器的共振频率分析，用于检测高灵敏度和线性的高压压力

机译：用于高 src =“ / images / tex / 18865.gif” alt =“ Q”> 的微机械AlN谐振器的电容压电传感器

机译：低温工艺制造电容式微机械超声换能器

机译：用于微机械电容式传感器的初级信号处理的高灵敏度设备

机译：应用于电容式麦克风的电容式传感器的闭环接口电路的开发。

机译：用于数字微机械振动陀螺仪的高动态范围开关电容Sigma-Delta ADC

机译：横摆率陀螺仪正交补偿电极上的电容传感器增强

机译：非接触式电容式波传感器。第二部分。电容式波传感器的设计与开发，

机译：基于微机械陀螺仪形成测试冲击运动质量的方法，用于调节微机械陀螺仪的共振频率悬浮运动质量的方法，确定该悬架相移的方法以及对微机械陀螺仪的正确操作进行连续测试的方法，电极产生微机械陀螺仪和微机械陀螺仪（可选）的测试IMPACT移动质量的结构，实现了该方法和电极结构

机译：用于制造微机械电容性超声换能器的表面微机械工艺及相关的微机械电容性超声换能器

机译：用于制造微机械电容性超声换能器和相关微机械电容性超声换能器的表面微机械过程