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【2h】

In-Situ Temperature Measurement on CMOS Integrated Micro-Hotplates for Gas Sensing Devices

机译：用于气体传感装置的CMOS集成微热的原位温度测量

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Marco Deluca; Robert Wimmer-Teubenbacher; Lisa Mitterhuber; Johanna Mader; Karl Rohracher; Marco Holzer; Anton Köck;
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年度 2019
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