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High resolution on-chip optical filter array based on double subwavelength grating reflectors

机译:基于双亚波长光栅反射器的高分辨率片上光学滤波器阵列

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摘要

An optical filter array consisting of vertical narrow-band Fabry-Pérot (FP) resonators formed by two highly reflective high contrast subwavelength grating mirrors is reported. The filters are designed to cover a wide range of operation wavelengths (Δλ/λ = 5%) just by changing the in-plane grating parameters while the device thickness is maintained constant. Operation in the telecom band with transmission efficiencies greater than 40% and quality factors greater than 1,000 are measured experimentally for filters fabricated on the same substrate.
机译:报道了一种由垂直窄带法布里-珀罗(FP)谐振器组成的光学滤波器阵列,该谐振器由两个高反射率高对比度亚波长光栅镜构成。仅通过改变面内光栅参数,同时保持器件厚度恒定,这些滤光片即可覆盖广泛的工作波长范围(Δλ/λ= 5%)。对于在同一基板上制造的滤波器,通过实验测量了传输效率大于40%且质量系数大于1,000的电信频段中的操作。

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